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原來三維表面形貌測量儀還可以應用在這些領域中

發布日期: 2022-07-08
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  隨著半導體技術的電子技術工藝的發展,電子產品都往小型化,輕薄化發展。iWatch的一經推出,穿戴電子產品成為了一個新的電子設備應用潮流。隨著電子產品的小型化,器件體積越做越小,空間就緊湊起來,這對器件加工尺寸及工藝的容差要求就越來越高。如何管控器件的尺寸及加工工藝對檢測手段提出了新的挑戰。原來很多制程工序只要管控2D的尺寸,現在需要管控3D的尺寸,而且精度要求都在微米級別,這就需要一個高速、高精度的測量手段來管控生產品質。
 
  三維表面形貌測量儀應運而生,這款儀器采用非接觸式線光譜共焦快速掃描技術,能夠高精度還原產品的3D結構,對肉眼不可見的結構缺陷都能準確檢測。因為具有較快的掃描速度,微米級別的精度和較強的穩定性,一經推出立馬成為精密生產商的新寵。在精密鑄件、精密點膠、3D玻璃,半導體缺陷檢測和多層光學薄膜厚度檢測,就是這款產品的主要應用領域。

  三維表面形貌測量儀的主要應用:
  1、3D玻璃缺陷檢測;
  2、半導體表面缺陷測試;
  3、多層薄膜厚度測試;
  4、精密部件3D尺寸及段差測試;
  5、精密點膠膠線截面、膠線寬度、膠線高度測試。
 
  產品特性:
  1、采用白光共聚焦色差技術,可獲得納米級的分辨率;
  2、測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高;
  3、測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料;
  4、尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面;
  5、不受樣品反射率的影響;
  6、不受環境光的影響;
  7、測量簡單,樣品無需特殊處理。
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